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英文:liquid-metal ion milling / 中文:液态金属离子锐

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  利用液态金属离子源进行离子束刻蚀的过程。它精度高(达0.1μm) 、刻蚀速率高,并有极大的灵活性,是制造光集成和超导器件等新型微电子器件的有效手段。

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