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英文:oxide etch / 中文:氧化物蚀刻剂

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  一种化学腐蚀溶液〈腐蚀剂〉。硅的氧化物容易溶解在它里面,但硅晶体在它里面基本上不溶解。由此,可用来在夜有光致抗蚀剂的氧化膜上刻出窗口。

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