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英文:oxide-masked multHayer growth / 中文:氧化物掩蔽多层生长

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  在外延生长期间,在不需要外延的区域上以热氧化物或沉积氧化物作为掩模所进行的掩蔽多层生长。氧化物上的窗口用光刻技术刻出。

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