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英文:process flow / 中文:工艺流
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  从原材料到成品检测为止的整个加工过程中，产品所经历的过程。对于IC 制造，为了减少污染，工艺流程应尽量缩短，并尽量减少人的直接干预。为此，应合理布置工艺设备，并尽盐使之自动化。

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