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  在集成电路生产过程中,对圆片和成品进行的电测,用以考查其工艺适应性和为其后的工艺调整和生产规划提供依据。所要测试的项目、待测参数范围、测试条件与测试方法,均应由某种达到确认的测试规范给定。

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